產品描述

AWM40000系列氣流傳感器基于成熟的微橋技術，包括非放大傳感器設備和放大信號調節設備。微橋式質量氣流傳感器的工作原理是傳熱理論。大量氣流被引導穿過傳感元件的表面。輸出電壓的變化正比于空氣質量或其他氣體流量通過進出口端口的包裝。該傳感器具有基于先進微結構技術的獨特硅芯片。它由薄膜、含加熱器的熱隔離橋式結構和溫度傳感元件組成。橋式結構對芯片上的空氣或其他氣體的流動提供了靈敏和快速的響應。位于中央加熱元件兩側的雙傳感元件指示流動方向和流速。特殊設計的外殼精確地指導和控制氣流通過微結構傳感元件。封裝的機械設計使其易于安裝到印刷電路板上。激光修整，厚膜和薄膜電阻器提供一致的互換性從一個設備到下一個。微橋質量氣流傳感器使用溫度敏感電阻沉積在氮化硅薄膜內。它們以兩座橋的形式懸浮在硅的蝕刻腔上。該芯片位于精確尺寸的氣流通道中，以提供可重復的流動響應。通過蝕刻流量傳感器橋下面的腔空間，可以實現加熱器和感測電阻的高效熱隔離。微橋質量氣流傳感器的小尺寸和熱隔離特性使其具有極快的響應速度和對氣流的高靈敏度。雙惠斯通電橋控制氣流測量-一個提供閉環加熱器控制，另一個包含雙傳感元件。加熱器電路通過提供與質量流量成比例的輸出，最大限度地減少了由于環境溫度變化引起的位移。電路保持加熱器溫度在一個恒定的差值（160°C）高于環境空氣溫度，這是由芯片上的熱量下沉電阻感測。該裝置的比率電壓輸出對應于惠斯通電橋電路上的差分電壓。未放大的版本需要加熱器控制電路（圖2）和傳感橋供電電路（圖3）來操作每個規格。這兩個電路不在傳感器上，必須在應用中提供。差分放大電路（圖4）可用于為傳感器輸出提供輸出增益和/或引入電壓偏置（圖5）。放大版本可用于增加輸出增益和引入電壓偏置。圖2、圖3和圖4所示電路均為板載電路。

特性

•精密硅微加工

•對低流量的敏感性（0.1 SCCM至6 SLPM）

•適用于更高流量的使用

•低功耗允許在便攜式設備和電池供電的應用中使用

•模擬輸出

•標準2,54毫米[0.10英寸]安裝中心

•激光切邊互換性

•準確感應低壓

應用程序

•醫學

呼吸器和呼吸機

氧氣濃縮器和保存器

麻醉機

•工業

暖通空調阻尼器控制

氣體分析儀

低真空控制

過程控制

檢漏設備

通風頭罩

燃氣計量

色譜法

AWM43600V-2氣體流量樣冊

氣體流量.pdf